IC厂房洁净系统方案介绍及比较

• 作者: 郝佳
• 来源期刊: 洁净与空调技术
• 学科: 工学
• 关键词: IC厂房 洁净级别 温湿度 风机过滤器单元
• 年，卷（期）: 2004,（3）
• 所属期刊栏目: 工程实例
• 页码范围: 63-65
• 页数: 3页
• 分类号: TU8
• 字数: 2998字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-3298.2004.03.015

摘要

微电子工业迅猛发展,本文以一个典型的IC厂房为实例,介绍几种洁净设计方式,并从投资、施工、运行等方面进行分析比较.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郝佳		1	1	1.0	1.0