InSb纳米颗粒的制备与原子力显微镜

• 作者: 何焰兰 吕志辉 孙全
• 来源期刊: 国防科技大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 纳米InSb颗粒 真空蒸发沉积 原子力显微镜
• 年，卷（期）: 2004,（2）
• 所属期刊栏目: 航天工程·材料工程
• 页码范围: 17-20
• 页数: 4页
• 分类号: TB333
• 字数: 2335字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-2486.2004.02.005

摘要

为进一步研究半导体纳米材料的物理特性,用真空沉积的方法在SiO2基片上制备了纳米InSb颗粒膜.用原子力显微镜扫描样品表面的分析显示,纳米InSb颗粒均匀地分布在SiO2基片表面.实验结果表明通过改变镀膜时间,可以得到具有不同颗粒尺寸的InSb纳米颗粒.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	何焰兰	国防科技大学理学院	22	118	6.0	10.0
2	孙全	国防科技大学理学院	5	8	2.0	2.0
3	吕志辉	国防科技大学理学院	2	4	1.0	2.0