无磨料低温抛光的均匀性仿真

• 作者: 刘向阳 刘巍娜 王晓飞 王立江 高春甫
• 来源期刊: 吉林大学学报(工学版)
• 学科: 工学
• 关键词: 机械设计 无磨料抛光 低温抛光 均匀性 仿真
• 年，卷（期）: 2004,（3）
• 页码范围: 388-391
• 页数: 4页
• 分类号: TG506.9
• 字数: 1593字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-5497.2004.03.011

摘要

无磨料低温抛光是一种可获得原子级超光滑表面的新方法.作者首先对加工区进行建模,并分析了冰盘与工件盘在水平面内的相对运动,然后利用Preston方程对工件的抛光均匀性进行了分析,并用数值方法实现了计算机仿真.结果表明:工件盘与冰盘的偏心距越大,工件的抛光均匀性越好.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	高春甫	吉林大学机械科学与工程学院	9	95	5.0	9.0
2	王立江	吉林大学机械科学与工程学院	21	168	8.0	12.0
3	刘向阳	吉林大学机械科学与工程学院	24	160	8.0	11.0
4	王晓飞	吉林大学机械科学与工程学院	8	121	4.0	8.0
5	刘巍娜	吉林大学机械科学与工程学院	2	42	2.0	2.0