一步法紫外曝光制备TiO2光敏凝胶光栅的初步研究

• 作者: 刘小林 吴广明 周斌 孙骐 沈军 艾琳 邱恒山 黄耀东
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 物理学
• 关键词: 光敏凝胶 紫外曝光 掩模 溶胶-凝胶工艺
• 年，卷（期）: 2004,（3）
• 所属期刊栏目: ICF与激光等离子体
• 页码范围: 305-308
• 页数: 4页
• 分类号: O484.4
• 字数: 2977字
• 语种: 中文

摘要

以钛酸丁酯和苯甲酰丙酮为原料,经sol-gel工艺,获得具有负性光刻胶性质的TiO2光敏凝胶薄膜.它的敏感波长在360nm附近,与反应生成的螯合环有关.结合掩模曝光和显影工艺,将条状或网格状的光栅图形引入光敏凝胶表面,获得光敏凝胶光栅.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周斌	同济大学波耳固体物理研究所	140	1582	22.0	31.0
2	沈军	同济大学波耳固体物理研究所	199	2285	26.0	36.0
3	吴广明	同济大学波耳固体物理研究所	118	1607	22.0	32.0
4	刘小林	同济大学波耳固体物理研究所	26	123	6.0	9.0
5	孙骐	同济大学波耳固体物理研究所	17	263	8.0	16.0
6	黄耀东	同济大学波耳固体物理研究所	10	148	7.0	10.0
7	邱恒山	同济大学波耳固体物理研究所	1	5	1.0	1.0
8	艾琳	同济大学波耳固体物理研究所	2	5	1.0	2.0