电子-离子双束纳米工作站

• 作者: 韩立 顾文琪 马向国
• 来源期刊: 光电工程
• 学科: 工学
• 关键词: 扫描电子束 聚焦离子束 微电子技术
• 年，卷（期）: 2004,（z1）
• 所属期刊栏目: 微电子技术
• 页码范围: 70-72
• 页数: 3页
• 分类号: TN4
• 字数: 1654字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-501X.2004.z1.020

摘要

现代微电子工业迅猛发展,对电子设备的精度和功能也提出了新的要求.电子-离子双束纳米工作站是扫描电子束和聚焦离子束技术的独特融合,突破了只能对表层成像和分析的局限,它可以对样品进行三维的、表面下的观察和分析,也可以切割、研磨样品材料和沉积特定的材料,用它可以获得以前无法得到的样品信息.该工作站为研究人员和制造人员提供了一种对多种样品在纳米尺度进行修改、制作和分析的有效工具.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	韩立	中国科学院电工研究所	98	376	9.0	13.0
2	顾文琪	中国科学院电工研究所	53	189	8.0	11.0
3	马向国	中国科学院电工研究所	15	74	4.0	8.0