透明材料飞秒激光三维微制备

• 作者: 李焱 杨宏 蒋红兵 龚旗煌
• 来源期刊: 量子电子学报
• 学科: 工学
• 关键词: 激光技术 飞秒激光 三维微制备 透明材料
• 年，卷（期）: 2004,（2）
• 页码范围: 188-193
• 页数: 6页
• 分类号: TN249|O484
• 字数: 5957字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-5461.2004.02.009

摘要

利用飞秒激光对透明材料进行改性和加工,制备三维微结构和器件受到极大的关注.本文介绍了在透明材料内部或表面进行微制备的方法和应用,包括利用飞秒激光诱导的折射率变化来制作光波导、光栅和耦合器等;利用材料内部的微爆炸实现三维点存储和其它三维点阵结构等;通过界面的烧蚀过程进行打孔、切割和刻蚀等;利用双光子聚合制备微透镜、光子晶体和衍射光学元件等等.