玻璃表面飞秒激光微孔加工技术探析

• 作者: 王艺霖 河北工业大学电子信息工程学院
• 来源期刊: 机电信息
• 学科: 工学
• 关键词: 飞秒激光加工 玻璃微孔结构 激光加工参数 MATLAB
• 年，卷（期）: 2023,（18）
• 所属期刊栏目: 工艺与技术
• 页码范围: 84-87,91
• 页数: 5页
• 语种: 中文
• DOI: 10.19514/j.cnki.cn32-1628/tm.2023.18.020

摘要

随着激光加工技术的不断发展，具有超快加工速度、超高加工精度及可实现超越衍射极限加工的飞秒激光加工技术受到越来越多的关注与应用。为探究飞秒激光在玻璃表面加工高深径比、高圆度微孔结构的方法，通过研究飞秒激光烧灼加工原理等，设计了一系列单因素控制对照实验，探究出激光功率、曝光时间等相对最佳激光加工参数。利用MATLAB软件设计编写了环状旋转加工的改进加工方法，旨在运用飞秒激光加工直写平台在玻璃材料表面加工制备出形貌表征良好、具有高深径比的微孔结构。