准分子激光脉冲直写刻蚀速率与能量密度的关系

• 作者: 周祖德 姜德生 魏仁选
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 激光微细加工 准分子激光器 激光直写 能量密度 阈值
• 年，卷（期）: 2004,（2）
• 所属期刊栏目: 先进加工制造技术
• 页码范围: 231-234
• 页数: 4页
• 分类号: TG665
• 字数: 1842字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2004.02.021

摘要

为了探索低成本、大深宽比加工方法,建立了实用的准分子激光微加工系统.以玻璃为实验靶材,用精密微动平台准确调节靶材位置,利用波长248 nm的KrF准分子激光器,研究了准分子激光直写刻蚀过程中平均刻蚀速率与激光脉冲能量密度之间的关系.加工出的沟槽剖面形状均呈现锥型,单脉冲刻蚀速率随脉冲数的增加而减小,激光脉冲对材料的刻蚀具有能量阈值,加工槽的深度具有上限值.采用平行激光束或对加工过程进行动态控制还可实现矩形深槽或圆柱深孔的加工.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	姜德生	武汉理工大学光纤传感技术研究中心	202	2882	27.0	39.0
2	周祖德	武汉理工大学机电工程学院	215	2565	25.0	40.0
3	魏仁选	武汉理工大学光纤传感技术研究中心	12	65	5.0	8.0