脉冲准分子激光沉积Mg/Ag掺杂薄膜

• 作者: 江超 王又青 胡少六
• 来源期刊: 激光杂志
• 学科: 工学
• 关键词: 梯度掺杂功能薄膜 掺杂改性 单束激光交替沉积
• 年，卷（期）: 2004,（2）
• 所属期刊栏目: 激光应用与系统
• 页码范围: 68-69
• 页数: 2页
• 分类号: TN248
• 字数: 1920字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0253-2743.2004.02.027

摘要

基于梯度掺杂功能薄膜材料在工业应用中的需要、通过金属掺杂对新材料改性研究的需要,用单束激光交替作用于两相异靶材,制备了Mg/Ag组分比为0.9的掺杂薄膜.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	胡少六	华中科技大学激光技术国家重点实验室	21	359	10.0	18.0
2	江超	华中科技大学激光技术国家重点实验室	32	253	9.0	14.0
6	王又青	华中科技大学激光技术国家重点实验室	57	521	12.0	20.0