厚度偏差对VCSEL的反射谱和反射相移的影响

• 作者: 侯识华 孙永伟 杨国华 谭满清 赵鼎 陈良惠
• 来源期刊: 光学与光电技术
• 学科: 工学
• 关键词: 厚度偏差 垂直腔面发射激光器 晶片键合 反射谱 反射相移
• 年，卷（期）: 2004,（4）
• 所属期刊栏目: 激光与红外
• 页码范围: 31-33
• 页数: 3页
• 分类号: TN248.4
• 字数: 2056字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-3392.2004.04.011

摘要

采用光学传输矩阵方法分析了厚度偏差对VCSEL的反射谱和反射相移产生的影响.结果表明,反射镜和VCSEL中各层厚度的偏大,将使反射镜的中心波长以及VCSEL的模式波长向长波方向移动,而反射镜和VCSEL中各层厚度的偏小,将使反射镜的中心波长以及VCSEL的模式波长向短波方向移动.将键合界面离有源区稍微远一些,有利于减小其厚度偏差对VCSEL的模式波长的影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	侯识华	中国科学院半导体研究所	12	124	5.0	11.0
2	赵鼎	中国科学院电子学研究所	27	129	7.0	10.0
3	孙永伟	中国科学院半导体研究所	12	56	3.0	7.0
4	谭满清	中国科学院半导体研究所	24	136	8.0	10.0
5	陈良惠	中国科学院半导体研究所	59	338	11.0	15.0
6	杨国华	中国科学院半导体研究所	11	72	3.0	8.0