加速度系统的结点化模型仿真

• 作者: 张海霞 杨振川 肖志勇 郝一龙
• 来源期刊: 北京大学学报(自然科学版)
• 学科: 工学
• 关键词: VHDL-AMS 结点化设计 MEMS CAD 模拟混合信号
• 年，卷（期）: 2004,（3）
• 页码范围: 432-436
• 页数: 5页
• 分类号: TH824+.4|TP391.77
• 字数: 2813字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0479-8023.2004.03.016

摘要

利用在Zeni VDE平台下建立的梁、平板质量、集总质量、气隙、压膜阻尼和锚点等结点化基本单元模型,对一种电容式加速度计系统进行了一系列的仿真,仿真内容包括静态仿真,时域仿真和频域仿真等.仿真结果和商用仿真工具ANSYS 的仿真结果以及试验数据保持良好的一致.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郝一龙	北京大学微电子学研究院	46	716	15.0	25.0
2	张海霞	北京大学微电子学研究院	24	168	6.0	12.0
3	肖志勇	北京大学微电子学研究院	4	40	3.0	4.0
4	杨振川	北京大学微电子学研究院	6	85	4.0	6.0