弹性反冲探测技术在材料分析中的应用

• 作者: 倪嵋楠 刘建成 周平 李淑媛 符长波 赵葵 路秀琴 郭继宇 隋丽
• 来源期刊: 原子能科学技术
• 关键词: 弹性反冲探测 △E-E望远镜探测器 深度分辨
• 年，卷（期）: 2004,（z1）
• 页码范围: 107-110,119
• 页数: 5页
• 分类号: O484.5|O564.33
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-6931.2004.z1.028

摘要

利用HI-13串列加速器提供的高品质的127I束,采用弹性反冲探测技术对材料表面成分和杂质的深度分布进行了分析.用△E-E望远镜探测器同时分析靶材料中从氢至中重的所有元素,其深度分辨为20～30 nm.用Q3D磁谱仪及其焦面探测器的高分辨动量分析,得到了纳米量级的深度分辨,此方法具有对纳米厚度的多层薄膜材料进行测试的能力.