声信号检测微机械阵列传声器滤波特性的研究

• 作者: 巫正中 徐道连 李晓毅 钟先信 陈文涛
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 微机械 传声器 滤波器
• 年，卷（期）: 2004,（z1）
• 所属期刊栏目: 微纳科学与技术
• 页码范围: 40-43
• 页数: 4页
• 分类号: TN641
• 字数: 1661字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2004.z1.009

摘要

在传统的声信号检测中,声电转换由传声器完成,滤波由专用电子滤波器完成.近年来,随着硅微机电系统(MEMS)技术的发展,已经开始把该技术用于微传声器的制造.在研究了当前几种硅微机械传声器的基础上,提出了一种全新的微机械阵列传声器,该装置在转换信号的同时实现滤波,并进一步讨论了阻尼和硅簧片根数对滤波特性的影响,阻尼的增加会降低该滤波器的灵敏度,簧片根数的增加则可以改善滤波效果.对硅微机械阵列传声器的研究,利于传感、滤波和分析一体化的智能声级计的实现.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	钟先信	重庆大学光电工程学院	90	1043	16.0	27.0
2	徐道连	重庆大学光电工程学院	13	114	5.0	10.0
3	李晓毅	重庆大学光电工程学院	21	179	8.0	12.0
4	陈文涛	重庆大学光电工程学院	10	121	8.0	10.0
5	巫正中	重庆大学光电工程学院	11	89	6.0	9.0