微机械阵列滤波传声器的动态特性

• 作者: 巫正中 徐道连 李晓毅 钟先信 陈文涛
• 来源期刊: 重庆大学学报(自然科学版)
• 学科: 工学
• 关键词: 微机械 传声器 滤波器
• 年，卷（期）: 2002,（12）
• 页码范围: 28-30
• 页数: 3页
• 分类号: TH89|TN641
• 字数: 1647字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-582X.2002.12.009

摘要

对近年来硅微机械加工技术(MEMS)工艺研制的几种微传声器进行了论述,对其优缺点进行分析和研究表明:这些传统的传声器主要起声电转换的作用,对噪声信号的滤波处理是由专用滤波电路完成,或者用数字滤波进行处理.为此提出了一种硅微阵列滤波器传声器,在转换信号的同时实现滤波.讨论了阻尼和硅簧片根数对动态特性的影响,并由此得出:阻尼的增加会降低传声器的灵敏度,簧片根数的增加可以改善灵敏度曲线.而且在获取噪声信号的同时能够实现滤波.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	钟先信	重庆大学光电工程学院	90	1043	16.0	27.0
2	徐道连	重庆大学光电工程学院	13	114	5.0	10.0
3	李晓毅	重庆大学光电工程学院	21	179	8.0	12.0
4	陈文涛	重庆大学光电工程学院	10	121	8.0	10.0
5	巫正中	重庆大学光电工程学院	11	89	6.0	9.0