原位反射率测量在制备金刚石X光窗口上的应用

• 作者: 应萱同 陈良尧 骆金龙
• 来源期刊: 核技术
• 学科: 工学
• 关键词: CVD金刚石 原位 反射率 软X光 透射率
• 年，卷（期）: 2004,（4）
• 所属期刊栏目: 新一代同步辐射技术及应用
• 页码范围: 247-250
• 页数: 4页
• 分类号: O484|TB34
• 字数: 2840字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-3219.2004.04.002

摘要

通过反射率的原位测量和曲线拟合,研究了薄膜的生长过程并实时确定了它的光学性质.研究的结果与扫描电子显微镜(SEM)照片、X射线衍射(XRD)和α-step表面轮廓等非原位测试的结果符合良好.应用该研究成果,成功地制备了一种通光直径为4-8 mm的无依托超薄金刚石X光高透射率窗口.样品测试完毕后均完好无损,显示了其低吸收和抗高辐射的良好特性.