正确使用多次测量法提高椭偏测量精度

• 作者: 刘洋 刘细成 王植恒 王芳宁
• 来源期刊: 激光杂志
• 学科: 物理学
• 关键词: 椭圆偏振 薄膜 多次测量法 精度
• 年，卷（期）: 2004,（1）
• 所属期刊栏目: 实验技术与装置
• 页码范围: 32-34
• 页数: 3页
• 分类号: O484.5
• 字数: 3608字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0253-2743.2004.01.013

摘要

通过分析椭偏测量的复杂性可知椭偏角高精度测量的重要性,针对曾认为可提高测量精度的多角度测量法在不恰当地增加入射角时极易破坏求解收敛性得到伪解的情况,提出了在测量误差一定和合适数目的多入射角时分别进行单角度多次数测量椭偏角来提高薄膜参数精度的方法,并对不同搜索范围和不同测量误差时的诸多情况进行了大量模拟计算.此方法能有效避开伪解、得到高精度的稳定真值,是提高椭偏测量精度的有效方法之一.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘洋	四川大学物理学院	189	780	14.0	20.0
2	王植恒	四川大学物理学院	28	285	10.0	16.0
3	王芳宁	四川大学物理学院	5	45	3.0	5.0
4	刘细成	四川大学物理学院	6	105	5.0	6.0