使用气体靶激光等离子体光源的软X射线反射率计

• 作者: 尼启良 陈波 齐立红
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 物理学
• 关键词: 软X射线反射率计 多层膜 激光等离子体 气体靶
• 年，卷（期）: 2004,（6）
• 所属期刊栏目: 现代应用光学
• 页码范围: 576-580
• 页数: 5页
• 分类号: O536
• 字数: 3067字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2004.06.005

摘要

建立了一台使用气体靶激光等离子体光源的软X射线反射率计,并给出了使用该反射率计测量软X射线多层膜反射率的方法.与金属靶等离子体光源相比,由于使用了气体靶等离子体光源,该反射率计具有低碎屑、可长期连续运行等优点.针对单色仪的二级光谱对反射率测量结果产生的影响,提出了修正方法.并用此方法对实测的工作波长为17.1 nm软X射线多层膜的反射率曲线进行了修正.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈波	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	167	1116	17.0	24.0
2	尼启良	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	35	217	8.0	13.0
3	齐立红	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	2	15	2.0	2.0