热等离子体雾态气化制备薄膜技术

• 作者: 姚熹 宫华 汪敏强 黄晖
• 来源期刊: 硅酸盐通报
• 关键词: 热等离子体雾态气化 热等离子体 超声雾化 MOCVD
• 年，卷（期）: 2004,（3）
• 所属期刊栏目: 综合评述
• 页码范围: 45-49
• 页数: 5页
• 字数: 5533字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-1625.2004.03.013

摘要

热等离子体雾态气化制备薄膜技术(mist plasma evaporation, MPE)以液态源物质溶液为先体,采用超声雾化将先体溶液雾化为细小液滴,用载气将雾化液滴输运到射频感应热等离子体中,利用热等离子体的超高温,将液滴中的源物质彻底气化和分解为其组分粒子,通过气相输运,最终在基片上沉积薄膜.MPE制备薄膜技术采用单一先体溶液,源物质来源广泛,沉积速率快,不需后续热处理.本文介绍了MPE制备薄膜技术原理及工艺,综述了近年来在制备薄膜方面的研究进展.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	姚熹	西安交通大学电子陶瓷与器件教育部重点实验室	172	1611	18.0	30.0
2	汪敏强	西安交通大学电子陶瓷与器件教育部重点实验室	39	492	11.0	21.0
3	黄晖	西安交通大学电子陶瓷与器件教育部重点实验室	9	296	5.0	9.0
4	宫华	长安大学材料工程系	10	166	6.0	10.0