短波段光学减反膜的溶胶-凝胶法制备及性能分析

• 作者: 姚兰芳 杨帆 沈军 王珊 肖轶群
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 物理学
• 关键词: 溶胶-凝胶 减反膜 激光三倍频 疏水性 激光损伤阈值
• 年，卷（期）: 2004,（10）
• 所属期刊栏目: ICF与激光等离子体
• 页码范围: 1281-1285
• 页数: 5页
• 分类号: O484
• 字数: 3087字
• 语种: 中文

摘要

随着大型激光器的发展,对短波段减反膜的要求日益提高,其中钕玻璃激光三倍频(355nm)的减反射成为新的技术要点.采用溶胶-凝胶工艺合成SiOz溶胶,采用提拉镀膜法制备纳米多孔SiOz薄膜,薄膜厚度为75nm,折射率控制在1.22,镀制在石英基底上的薄膜其355nm波长的反射率仅为0.2%.通过氨处理工艺和薄膜的表面修饰,薄膜的抗磨擦性能和疏水性能大大提高,薄膜经过蘸有灰尘、乙醇的棉花球擦洗20次和50次后,透射率最大值仅分别降低0.13%和0.39%,与水珠的接触角达到110°.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	沈军	同济大学波耳固体物理研究所	199	2285	26.0	36.0
2	杨帆	同济大学波耳固体物理研究所	95	774	15.0	24.0
3	王珊	同济大学波耳固体物理研究所	4	31	2.0	4.0
4	肖轶群	同济大学波耳固体物理研究所	10	149	8.0	10.0
5	姚兰芳	同济大学波耳固体物理研究所	38	259	11.0	14.0