紫外辐照对溶胶-凝胶光学薄膜性能的影响

• 作者: J.Mugnier 吴广明 周斌 孙骐 杨帆 沈军 罗爱云
• 来源期刊: 原子能科学技术
• 关键词: 溶胶-凝胶工艺 紫外光处理 机械性能 激光损伤阈值 有机粘接剂
• 年，卷（期）: 2005,（6）
• 页码范围: 507-512
• 页数: 6页
• 分类号: TN204|TN304.05
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-6931.2005.06.008

摘要

采用溶胶-凝胶技术,使用旋涂方法在K9玻璃和单晶硅片上制备各种光学薄膜,并用紫外光源作为高能光子源辐照溶胶-凝胶光学薄膜.使用扫描电镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)、椭偏仪、铅笔硬度仪等测量和分析薄膜的特性.用输出波长1 064 nm、脉宽15 ns电光调Q激光系统测试薄膜的激光损伤阈值.结果表明,紫外光辐照可提高薄膜折射率和机械性能.采用紫外预处理还能将节瘤缺陷转换成孔洞缺陷,从而有效提高薄膜的激光损伤阈值,其中,单层ZrO2薄膜的激光损伤阈值达到50.6 J/cm2(1 064 nm,1 ns).与当前流行的激光预处理技术相比,紫外预处理的设备简单、易于操作.溶胶-凝胶多层膜经紫外光处理后,有效提高了多层膜膜层的均匀性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周斌	同济大学波耳固体物理研究所	140	1582	22.0	31.0
2	沈军	同济大学波耳固体物理研究所	199	2285	26.0	36.0
3	杨帆	同济大学波耳固体物理研究所	95	774	15.0	24.0
4	吴广明	同济大学波耳固体物理研究所	118	1607	22.0	32.0
5	孙骐	同济大学波耳固体物理研究所	17	263	8.0	16.0
6	罗爱云	同济大学波耳固体物理研究所	10	111	7.0	10.0