等离子辅助镀光学薄膜的研究

• 作者: 杜旭日 郭亨群
• 来源期刊: 华侨大学学报（自然科学版）
• 关键词: 等离子辅助镀 光学薄膜 等离子体源
• 年，卷（期）: 2001,（1）
• 页码范围: 31-34
• 页数: 4页
• 分类号: TQ153:O484.1
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-5013.2001.01.007

摘要

研究用等离子辅助镀技术，制备3种氧化物光学薄膜.透射光谱实验表明，该薄膜透明度好，吸收损耗小，具有优良的光学特性.经表面形貌探讨，说明等离子辅助镀技术可得到较为致密平整的薄膜.而新型等离子体源，能有效地改善光学薄膜的特性，具有实际应用的价值.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郭亨群	华侨大学信息科学与工程学院	40	180	8.0	11.0
2	杜旭日	华侨大学信息科学与工程学院	2	8	1.0	2.0