光学薄膜厚度实时监控系统检测电路设计

• 作者: 倪原 李锂 齐华
• 来源期刊: 探测与控制学报
• 关键词: 监控 薄膜厚度 光学常数
• 年，卷（期）: 2004,（3）
• 页码范围: 62-64
• 页数: 3页
• 分类号: O484.5
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1008-1194.2004.03.016

摘要

提出了一种多层1/4波长膜系的薄膜厚度监控系统的检测电路的设计方法,该方法采用了以锁定放大器为核心的检测电路.根据锁定放大器的工作原理,提出了利用锁定放大器检测微弱信号的实验方法,并指出了影响测量的几个参数.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	齐华		61	276	9.0	14.0
2	倪原		69	289	10.0	13.0
3	李锂		8	18	2.0	4.0