能动反射镜低频像差补偿能力分析

• 作者: 凌宁 曾志革 杨李成
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 工学
• 关键词: 能动反射镜 低频误差 有限元法 补偿 影响函数
• 年，卷（期）: 2004,（7）
• 所属期刊栏目: 高功率激光与光学
• 页码范围: 843-847
• 页数: 5页
• 分类号: TH741
• 字数: 2177字
• 语种: 中文

摘要

采用Algor软件包并利用有限元法对37单元能动反射镜低频误差补偿能力进行了分析计算,确定了镜面厚度8mm,驱动器间距46mm,极头直径12mm等能动反射镜制造的关键参数.通过计算机仿真分析证明,基于这些参数所设计的能动反射镜可以对低频误差进行有效校正,校正精度的均方根值小于等于λ/8,从而可以为能动反射镜的制造提供理论依据.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	凌宁	中国科学院光电技术研究所	64	929	17.0	27.0
2	杨李成	中国科学院光电技术研究所	4	33	4.0	4.0
3	曾志革	中国科学院光电技术研究所	21	199	9.0	13.0