基于电热模拟的电迁移可靠性诊断及时钟完整性分析

• 作者: 周润德 张盛 王乃龙
• 来源期刊: 清华大学学报(自然科学版)
• 学科: 工学
• 关键词: 大规模集成电路 电热耦合模拟 时钟信号完整性 电迁移可靠性诊断
• 年，卷（期）: 2004,（7）
• 所属期刊栏目: 微电子学
• 页码范围: 984-987
• 页数: 4页
• 分类号: TN47
• 字数: 3212字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-0054.2004.07.032

摘要

为诊断大规模集成电路设计过程中电迁移可靠性及分析时钟信号完整性,开发一种用于集成电路片上时钟信号模拟软件Etsim3. 该模拟软件考虑了集成电路自热效应,通过电热耦合模拟以及金属连线温度分布解析模型获得更准确的集成电路芯片表面以及各金属连线网络上的温度分布.模拟结果表明,考虑集成电路自热效应前后,电迁移诊断以及时钟信号完整性分析结果都有了较大程度上的改变, Etsim3可以得到更为精确的分析以及诊断结果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周润德	清华大学微电子学研究所	57	414	12.0	18.0
2	张盛	清华大学微电子学研究所	41	161	7.0	10.0
3	王乃龙	清华大学微电子学研究所	7	99	6.0	7.0