准分子激光的光束波面测量技术

• 作者: 叶震寰 李红霞 楼祺洪 董景星 魏运荣
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 工学
• 关键词: 准分子激光 光束测量 波面分析技术
• 年，卷（期）: 2004,（5）
• 所属期刊栏目: ICF与激光等离子体
• 页码范围: 619-622
• 页数: 4页
• 分类号: TN248.2
• 字数: 2601字
• 语种: 中文

摘要

准分子激光在激光光刻和微细加工中有广泛的应用,要求激光具有好的稳定性和光束波面均匀性.介绍了准分子激光的波面特性以及波面分析测量技术.用波面分析仪对XeCl和ArF激光特性进行全面的测量和评估,给出了主要参数的测量结果,重点分析了光束均匀性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	楼祺洪	中国科学院上海光学精密机械研究所	131	1539	22.0	31.0
2	董景星	中国科学院上海光学精密机械研究所	93	890	17.0	23.0
3	魏运荣	中国科学院上海光学精密机械研究所	86	833	17.0	23.0