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防止半导体制造装置漏气的密封材料
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期刊影响力
化工新型材料
主办单位：
中国化工信息中心
出版周期：
月刊
ISSN：
1006-3536
CN：
11-2357/TQ
开本：
大16开
出版地：
北京安定门外小关街53号
邮发代号：
82-816
创刊时间：
1973
语种：
chi
出版文献量（篇）
12024
总下载数（次）
55
总被引数（次）
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