高速微转子在MEMS情况下的几个问题

• 作者: 孟光 黄海
• 来源期刊: 测试技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS 尺度效应 摩擦 流场分析
• 年，卷（期）: 2004,（z3）
• 所属期刊栏目: 微电子机械系统(MEMS)
• 页码范围: 15-18
• 页数: 4页
• 分类号: TP2
• 字数: 2823字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-7449.2004.z3.006

摘要

本文在总结国内外微机械研究现状的基础上,讨论了在MEMS情况下结构材料物理特性的尺度效应、摩擦和磨损问题以及转子系统的流场数值模拟问题和流固耦合问题,对微马达的转子系统具有重要影响的问题.