非正态分布工艺参数工序能力指数分析

• 作者: 宋军建 蒲建斌 贾新章
• 来源期刊: 西安电子科技大学学报(自然科学版)
• 学科: 工学
• 关键词: 工序能力指数 成品率 正态分布 非正态分布
• 年，卷（期）: 2004,（1）
• 页码范围: 13-15,46
• 页数: 4页
• 分类号: TN405
• 字数: 2422字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-2400.2004.01.004

摘要

半导体器件生产中,有些工艺参数为非正态分布,如果采用常规方法计算其工序能力指数,评价生产工艺水平,将可能导致错误的结论.因此提出了一种非正态分布工艺参数计算方法,并开发了相应的软件,可以分析计算非正态分布工艺参数的工序能力指数和工艺不合格品率.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	贾新章	西安电子科技大学微电子所	63	572	14.0	20.0
2	蒲建斌	西安电子科技大学微电子所	2	13	2.0	2.0
3	宋军建	西安电子科技大学微电子所	4	43	4.0	4.0