新技术：分子级真空气相Parylene涂敷技术

• 作者: 陈东
• 来源期刊: 功能材料信息
• 学科: 工学
• 关键词: 分子级真空气相Parylene涂敷技术 表面改性技术 电绝缘性 凝固应力
• 年，卷（期）: gnclxx_2004,（3）
• 页码范围: 59
• 页数: 1页
• 分类号: TG174.44

摘要

据悉，我国有关研究机构最近开发出一种目前最先进的表面改性(防护)技术：分子级真空气相Parylene涂敷技术。该技术是将高分子材料Parylene在真空中进行低温蒸发、高温裂解，然后在室温下沉积到被涂敷工件上，在工件上形成无针孔的优质防护层。该涂层具有优异的电绝缘性、良好的隔离防护功能，以及很好的物