β-BaB2O4薄膜制备技术的研究和进展

• 作者: 何晓明 刘军芳 周国清 徐军 王海丽 赵广军
• 来源期刊: 硅酸盐学报
• 学科: 工学
• 关键词: β-偏硼酸钡薄膜 群速度失配 脉宽展宽 制备工艺 相位匹配
• 年，卷（期）: 2004,（5）
• 所属期刊栏目: 综合评述
• 页码范围: 636-641
• 页数: 6页
• 分类号: TQ171
• 字数: 4989字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0454-5648.2004.05.021

摘要

为了满足飞秒超快激光技术和集成光学发展的需要、解决β-BaB2O4(β-BBO)体单晶中因厚度带来的群速度失配问题以及脉宽展宽等问题,人们开始了β-BBO薄膜的制备技术研究.文章简要总结了现有的β-BBO薄膜的制备技术,包括溶胶-凝胶法、脉冲激光沉积法、磁控溅射法和金属有机化学气相沉积法;讨论了各种制备技术的发展现状及其优缺点;提出了目前薄膜制备及应用中存在的一些问题及今后的发展方向.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐军	中国科学院上海光学精密机械研究所	290	2418	22.0	34.0
2	赵广军	中国科学院上海光学精密机械研究所	55	422	11.0	16.0
3	周国清	中国科学院上海光学精密机械研究所	48	336	11.0	15.0
4	何晓明	中国科学院上海光学精密机械研究所	19	100	7.0	9.0
5	王海丽	中国科学院上海光学精密机械研究所	11	21	3.0	4.0
6	刘军芳	中国科学院上海光学精密机械研究所	4	15	2.0	3.0