制备材料芯片的K分分形掩膜策略

• 作者: 冯兰 蔡英文 顾明
• 来源期刊: 高技术通讯
• 关键词: 组合合成 分形 掩膜 材料芯片
• 年，卷（期）: 2004,（6）
• 所属期刊栏目: 新材料技术
• 页码范围: 39-42
• 页数: 4页
• 字数: 3426字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1002-0470.2004.06.009

摘要

研究了制备由K个水平(元素含量)的任意n种元素所组合的材料芯片的掩膜策略,即K分分形的掩膜策略,它不仅弥补了以往掩膜策略的缺陷,而且具有普遍适用性和更高的灵活性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	顾明	上海交通大学材料科学与工程学院	4	4	1.0	1.0
2	蔡英文	上海交通大学材料科学与工程学院	14	112	3.0	10.0
3	冯兰	上海交通大学材料科学与工程学院	3	67	2.0	3.0