一种提高并行共焦显微测量重复性精度的方法

• 作者: 王永红 高晓斌
• 来源期刊: 合肥工业大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 共焦显微测量 线性拟合 三维形貌
• 年，卷（期）: 2004,（10）
• 页码范围: 1365-1368
• 页数: 4页
• 分类号: TN247
• 字数: 2310字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-5060.2004.10.065

摘要

并行共焦测量是利用微透镜和小孔列阵产生一个二维点光源阵列,实现对物面上一个二维阵列物点的同步共焦测量.传统的共焦显微测量系统对三维形貌进行重构,是通过搜索各个轴向扫描图像中光斑光强极值点的位置来获取三维轮廓,轴向扫描间距的选取对测量精度和重复性的影响很大.文章介绍了一种新的数据处理方法,其先对各物点的轴向光强采样值进行线性拟合,再由拟合得到的直线确定最大光强所对应的轴截面位置,这样可以在较大的轴向采样间距下获得较高精度的三维轮廓信息.实验结果表明,采用这种数据处理方法,测量精度和重复性精度均有所提高.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王永红	合肥工业大学仪器仪表学院	58	365	11.0	15.0
2	高晓斌	合肥工业大学仪器仪表学院	3	13	3.0	3.0