基于物方差动共焦轴向测量引导的显微镜自动对焦方法

• 作者: 海涌杰 易定容 黄彩虹 袁涛 梅小华
• 来源期刊: 华侨大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 自动对焦方法 轴向测量 轴向差动共焦 物方差动 微观形貌检测
• 年，卷（期）: 2024,（1）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 22-27
• 页数: 6页
• 语种: 中文

摘要

针对传统自动聚焦方法效率低，难以适应工业产品微观形貌检测高精度、高效率需求的问题，提出一种基于物方差动共焦轴向测量引导的显微镜自动对焦方法(DCAFM)。在获取测量系统中离焦量和轴向光强差之间的标定曲线后，控制运动机构使物镜与样本的轴向距离以等步距的方式采集图像。通过焦前与焦后位置光强差快速确定当前轴向离焦量，控制轴向运动机构，实现快速自动对焦。搭建显微镜自动对焦实验平台，对样品进行测试。实验结果表明：文中方法的图像对焦速度和灵敏度优于DFT,EOG等自动对焦方法，系统的轴向分辨率优于0.4μm,有效地提高了显微镜的对焦速度和精度。