基于并行共聚焦显微系统的物方差动轴向测量

• 作者: 刘婷 刘志群 孔令华 张勇贞 易定容 王梓
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 三维形貌测量 物方差动共焦 并行轴向测量 非接触式 数字微镜器件
• 年，卷（期）: 2017,（6）
• 所属期刊栏目: 现代应用光学
• 页码范围: 1449-1457
• 页数: 9页
• 分类号: TN247
• 字数: 3980字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20172506.1449

摘要

差动共聚焦显微成像技术可以获得很高的轴向测量精度,然而已有的差动共聚焦测量技术主要适用于激光扫描共聚焦,还不能满足微纳加工过程中对工件进行非接触式的在线、在位测量的要求.本文在分析差动共聚焦显微成像系统能够实现轴向测量原理的基础上,提出了适用于并行共聚焦技术的轴向测量方法.该方法利用均匀白光照明,在像方只需要使用一台相机做探测器,在物方通过移动载物台分别对样品在焦前和焦后两次成像,根据预先刻度好的差动曲线就可以得出物体表面的高度.理论模拟与实验结果均表明,该方法可以实现高精度的轴向测量,对500nm的台阶样品测量的平均误差为2.9nm,相对误差为0.58%.该方法简单、廉价、测量精度高,可以用于普通显微镜,易于实现样品的三维快速形貌还原与测量.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘志群	华侨大学机电及自动化学院	14	67	3.0	8.0
3	刘婷	华侨大学机电及自动化学院	8	47	3.0	6.0
4	易定容	华侨大学机电及自动化学院	10	15	3.0	3.0
5	张勇贞	华侨大学机电及自动化学院	3	12	2.0	3.0
8	孔令华	福建工程学院机械与汽车工程学院	6	12	2.0	3.0
9	王梓	华侨大学机电及自动化学院	3	14	3.0	3.0