基于数字微镜器件的并行彩色共聚焦测量系统

• 作者: 余卿 崔长彩 张一 张昆 程方
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 光学测量 彩色共聚焦技术 数字微镜器件 彩色相机 表面形貌三维重构
• 年，卷（期）: 2020,（4）
• 所属期刊栏目: 现代应用光学
• 页码范围: 859-866
• 页数: 8页
• 分类号: TH742
• 字数: 3146字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20202804.0859

摘要

彩色共聚焦技术因其高分辨率、高测速的特点,在表面形貌测量领域备受关注,然而现有的彩色共聚焦技术多为单点测量,一定程度上限制了测量效率.本文在彩色共聚焦技术的基础上,以DMD作为光分束器件,结合自主研发的大口径色散管镜,利用面阵彩色相机作为光电接收器件,研究和建立了基于数字微镜器件的并行彩色共聚焦实验平台,实现了对被测物面上多个探测点的并行图像处理.最终,利用所搭建的并行彩色共聚焦测量系统,对50μm高的台阶和自制台阶进行了测量,并对硬币的表面形貌进行了三维恢复.实验结果表明,该测量系统的轴向测量范围为300 μm,测量精度达到微米级;同时,能够较好地恢复硬币的表面形貌特征,具有较好的测量效率与可靠性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	崔长彩	华侨大学制造工程研究院	55	459	12.0	20.0
2	张昆	华侨大学机电及自动化学院	11	4	1.0	1.0
3	余卿	华侨大学机电及自动化学院	21	61	4.0	7.0
4	程方	华侨大学机电及自动化学院	3	0	0.0	0.0
5	张一	华侨大学机电及自动化学院	2	0	0.0	0.0