压电微型泵的制造新工艺

• 作者: 刘收 姚立强 姜兴刚 王益红 陈志同
• 来源期刊: 新技术新工艺
• 学科: 工学
• 关键词: 覆膜技术 固体胶膜键合工艺 微型泵
• 年，卷（期）: 2004,（7）
• 所属期刊栏目: 机械加工与自动化
• 页码范围: 19-21
• 页数: 3页
• 分类号: TH3∶TH706
• 字数: 2422字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-5311.2004.07.008

摘要

在微机电系统(MEMS)中首次把聚对苯二甲基聚合物覆膜(Parylene Coating)技术成功应用于压电薄膜致动器的绝缘、防振、防水和防腐蚀;采用双面固体胶膜的键合工艺代替了传统胶粘结工艺;采用了精密微钻孔、微车削等微细加工技术.这些措施明显缩短了微型泵器件的研制周期,降低了成本,提高了微泵综合性能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈志同		75	559	14.0	20.0
2	姜兴刚		28	225	8.0	13.0
3	刘收		3	17	3.0	3.0
4	姚立强		3	17	3.0	3.0
5	王益红		4	34	4.0	4.0