成形表面超精度在线测量仪的研制

• 作者: 李天宝 欧阳八生
• 来源期刊: 组合机床与自动化加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: 成形表面 超精度 在线测量 测量仪
• 年，卷（期）: 2004,（6）
• 所属期刊栏目: 控制与检测
• 页码范围: 74-75
• 页数: 2页
• 分类号: TH161+.1
• 字数: 1357字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-2265.2004.06.029

摘要

设计研制一种用于成形表面接触式在线测量的超精度测量仪.它的优点如下:①测量力很小,(约0.001～0.0015N),对被测表面不会产生划伤、刮痕;②测量精度高,测量仪测头的倾斜与滑动引起的测量误差很小,且其运动通过极小型的激光干涉差分传感器进行检测,因此,其测量数据的相关性和重复性比传统的传感器要好得多,测量数据的重复性3σ小于0.1μm;③可实时进行测量,从测量仪测得的数据通过电脑同步输出,生产效率高.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	欧阳八生		49	189	8.0	11.0
2	李天宝		9	128	4.0	9.0