复合光源实时微振动干涉测量仪

• 作者: 刘英明 李代林 王向朝 王学锋 郭立萍
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 测绘仪器 实时测量 微振动 干涉仪
• 年，卷（期）: 2004,（3）
• 所属期刊栏目: 测量技术
• 页码范围: 350-353
• 页数: 4页
• 分类号: TH744.3
• 字数: 2654字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0258-7025.2004.03.024

摘要

提出了一种新的实时微振动激光干涉测量仪.通过采用复合光源和反馈系统,有效地消除了激光二极管-正弦相位调制(LD-SPM)干涉仪中由电流调制所带来的测量误差和外界干扰所带来的影响,实现了物体微振动的纳米精度实时测量.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王向朝	中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学研究实验室	170	1628	23.0	35.0
2	郭立萍	中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学研究实验室	5	76	5.0	5.0
3	王学锋	中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学研究实验室	24	169	7.0	12.0
4	李代林	中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学研究实验室	5	55	4.0	5.0
5	刘英明	中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学研究实验室	9	42	5.0	6.0