一种新型的光寻址电位传感器研究

• 作者: 张虹 徐磊 韩泾鸿 顾丽波
• 来源期刊: 电子学报
• 学科: 工学
• 关键词: 光寻址电位传感器(LAPS) 微电子机械加工技术(MEMS) 阵列芯片 光电流
• 年，卷（期）: 2004,（8）
• 所属期刊栏目: 科研通信
• 页码范围: 1385-1388
• 页数: 4页
• 分类号: TN29
• 字数: 3963字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0372-2112.2004.08.037

摘要

依据光寻址电位传感器(LAPS)工作原理和光生载流子在硅片中扩散理论,提出了一种正面光照的LAPS新结构设计,在正面光照方式的测量池、插件式芯片和硅尖阵列芯片等方面具有创新性.新型LAPS的光电流信号比背面照射的提高了4倍;在检测标准缓冲溶液pH4.00、pH6.86、pH9.18的pH值时,线性相关系数0.9999,灵敏度为50.1mV/pH.重复检测pH9.18标准缓冲溶液四次的标准偏差和变异系数分别为0.57mV、0.048%.最后,分析讨论了三电极测量方法和新型LAPS结构特色、以及LAPS电解质电导对光电流的影响等.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	顾丽波	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	5	20	3.0	4.0
2	韩泾鸿	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	29	197	7.0	12.0
3	徐磊	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	58	354	11.0	16.0
4	张虹	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	46	477	9.0	20.0