MEMS模拟仿真研究和发展现状

• 作者: 丁建宁 凌智勇 徐炎冰 李长生 范真
• 来源期刊: 现代制造工程
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS CAD 系统级仿真 耦合场 宏模型
• 年，卷（期）: 2004,（12）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 116-118
• 页数: 3页
• 分类号: TH16
• 字数: 2876字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-3133.2004.12.050

摘要

介绍微机电模拟和仿真的一些基本特点,概括MEMS CAD的体系结构,以及等效电路法建立宏模型的方法和用ANSYS进行耦合场分析,并指出今后有待研究的几个问题.