一种玻璃微流控芯片的制作方法研究

• 作者: 李成武 王永宁 高云华
• 来源期刊: 高等学校化学学报
• 学科: 化学
• 关键词: ITO玻璃 微流控芯片 刻蚀 键合
• 年，卷（期）: 2004,（z1）
• 所属期刊栏目: 微流控芯片加工技术及材料
• 页码范围: 45-46
• 页数: 2页
• 分类号: O6
• 字数: 1102字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0251-0790.2004.z1.025

摘要

研究了以ITO膜为掩膜的玻璃微芯片的制作方法和玻璃-玻璃键合技术,并详细讨论了腐蚀条件对掩膜的性能、玻璃的蚀刻速率和微通道表面形貌的影响.总结出了该制作方法与传统玻璃芯片的制作方法相比具有的特点和优势.开发出了一种成本低且简易的玻璃芯片制作方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	高云华	中国科学院理化技术研究所	25	144	7.0	11.0
2	王永宁	中国科学院理化技术研究所	8	46	4.0	6.0
3	李成武	中国科学院理化技术研究所	6	24	3.0	4.0