一种高精度原子力显微镜的设计及应用

• 作者: 杨学恒 杨惠 谢超 费德国 陈红兵 靳平
• 来源期刊: 中国机械工程
• 关键词: 原子力显微镜 扫描隧道显微镜 镜体 微悬臂
• 年，卷（期）: 2004,（21）
• 所属期刊栏目: 机械科学
• 页码范围: 1909-1911
• 页数: 3页
• 分类号: O562.2
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-132X.2004.21.008

摘要

简述了重庆大学研制的原子力显微镜(AFM)样机的工作原理和应用,重点介绍了其镜体的独特设计.该样机采用扫描隧道显微镜检测微悬臂的起伏,通过四维机械驱动和双压电陶瓷扫描,有效提高了扫描精度,扩大了扫描范围,简单适用的微悬臂使操作大大简化.给出了用该机检测到的具有代表性的4种样品的表面形貌图.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨学恒	重庆大学数理学院	39	294	9.0	15.0
2	杨惠	重庆工学院材料学院	25	294	8.0	16.0
3	陈红兵	重庆大学数理学院	9	111	6.0	9.0
4	谢超	重庆大学数理学院	7	83	6.0	7.0
5	费德国	重庆大学数理学院	1	31	1.0	1.0