微机电系统集成设计方法与实现技术

• 作者: 常洪龙 苑伟政 马炳和
• 来源期刊: 中国机械工程
• 关键词: 微机电系统 集成设计 设计平台 系统级 器件级 工艺级
• 年，卷（期）: 2004,（10）
• 所属期刊栏目: 科学基金
• 页码范围: 916-920
• 页数: 5页
• 分类号: TH-39|TP391.9
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-132X.2004.10.019

摘要

针对微机电系统设计所存在的多学科交叉、周期长等问题,提出自顶向下设计与自底向上修正的双向微机电系统集成设计方法,将设计流程分为系统级、器件级和工艺级三个阶层;以微惯性器件为典型对象研究了各阶层的关键实现技术,并在此基础上构建微机电系统集成设计平台;所进行的硅微加速度计设计实例说明平台的设计流程可行,同时平台所具有的系统级、器件级和工艺级的多设计入口以及各阶层的全参数化驱动设计功能可提高微机电系统设计的效率.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	马炳和	西北工业大学机电学院	33	167	7.0	11.0
2	苑伟政	西北工业大学机电学院	70	351	10.0	14.0
3	常洪龙	西北工业大学机电学院	25	112	6.0	10.0