Power MEMS研究现状及展望

• 作者: 刘宜胜 宋瑞银 李伟 杨灿军 甘霖 黎嘉杰
• 来源期刊: 机床与液压
• 学科: 工学
• 关键词: Power MEMS MEMS 电源
• 年，卷（期）: 2004,（9）
• 所属期刊栏目: 综述与评论
• 页码范围: 5-6,54
• 页数: 3页
• 分类号: TP271
• 字数: 2387字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3881.2004.09.002

摘要

归纳了Power MEMS研究的现状,分析了该领域尚待解决的关键问题,并对其今后的发展前景给予展望.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨灿军	浙江大学流体传动及控制国家重点实验室	113	1320	18.0	31.0
2	李伟	浙江大学流体传动及控制国家重点实验室	313	3784	29.0	48.0
3	宋瑞银	浙江大学流体传动及控制国家重点实验室	23	121	6.0	10.0
4	刘宜胜	浙江大学流体传动及控制国家重点实验室	7	96	4.0	7.0
5	甘霖	浙江大学流体传动及控制国家重点实验室	1	13	1.0	1.0
6	黎嘉杰	浙江大学流体传动及控制国家重点实验室	2	26	2.0	2.0