用混合Petri网对微开关加工系统建模和仿真

• 作者: 宋亚辉 胡红革 黄大贵
• 来源期刊: 仪器仪表学报
• 学科: 工学
• 关键词: 半导体加工系统 混和Petri网 微开关
• 年，卷（期）: 2004,（z3）
• 所属期刊栏目: 智能仪表与微机电系统
• 页码范围: 98-100
• 页数: 3页
• 分类号: TM5
• 字数: 2033字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0254-3087.2004.z3.033

摘要

半导体加工系统是一个非常复杂的、离散事件和连续时间相结合的混合动态系统,离散Petri网不能很好地对这样的系统进行建模和分析,混合Petri网可以很好地描述半导体加工系统的静态属性及动态行为.实际上,运用离散Petri网将面临状态爆炸以及仿真的高消耗的问题.混合Petri网用来对半导体加工系统进行建模和仿真,这类模型用于微开关加工流程的建模和仿真,证明结果很精确并且仿真速度很快.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄大贵	电子科技大学机电工程学院	84	695	15.0	20.0
2	胡红革	电子科技大学机电工程学院	8	41	4.0	6.0
6	宋亚辉	电子科技大学机电工程学院	8	52	4.0	7.0