一种压电喷墨打印机喷头的动力学特性研究

• 作者: 刘本东 周煜 李德胜 李浩群
• 来源期刊: 纳米技术与精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 按需喷射 压电薄膜 压电耦合 合成喷 ANSYS
• 年，卷（期）: 2005,（3）
• 所属期刊栏目: 微机电系统
• 页码范围: 199-203
• 页数: 5页
• 分类号: TM282
• 字数: 2025字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-6030.2005.03.008

摘要

为研究压电薄膜驱动的应用,介绍了一种MEMS压电喷墨打印机喷头的工作原理.重点研究了逆压电效应作用产生的机械振动特性.模型结构由一种耐热玻璃与沉积在其表面的压电薄膜复合而成.针对圆形、方形两种形状的压电薄膜,利用有限元分析软件ANSYS分别求得复合结构的最大静位移0.57μm和0.36 μm,一阶固有频率23.90 kHz和22.30 kHz,并比较了两种情况下的动力特性.仿真结果表明,所施加驱动交流电压的频率对该结构可产生很大的影响,其最大机械变形主要取决于谐振频率,从而为喷墨打印机喷头及类似器件的设计提供参考.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李德胜	北京工业大学机电技术研究所	78	461	14.0	16.0
2	李浩群	北京工业大学机电技术研究所	6	37	4.0	6.0
3	周煜	北京工业大学机电技术研究所	2	17	2.0	2.0
4	刘本东	北京工业大学机电技术研究所	12	80	4.0	8.0