飞秒激光刻划铌酸锂实现极化反转的实验研究

• 作者: 于建 倪晓昌 张志刚 桑梅 王清月 王颖 纪磊 薛迎红
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 物理学
• 关键词: 非线性光学 周期极化铌酸锂 飞秒激光微加工 极化反转
• 年，卷（期）: 2005,（12）
• 所属期刊栏目: 材料
• 页码范围: 1688-1692
• 页数: 5页
• 分类号: O437
• 字数: 4519字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0258-7025.2005.12.021

摘要

采用飞秒激光加工制作周期性极化铌酸锂(PPLN).实验中利用飞秒激光加工机的高精密加工的特性,在晶体+Z面刻划出周期性条纹,条纹周期以及深宽比可调,并加均匀的高压电场,通过改变晶体表面形状来影响晶体内部电场分布.实验观察到沿飞秒激光刻划方向有明显的极化现象,以及加工参量对极化反转的影响.该方案比纳秒激光刻划精度高,影响区小,可以做到更高深宽比且保持刻槽规则的形状.直接用激光刻划,无需掩模和光刻工艺,具有较大的灵活性,作为改进制作周期性极化铌酸锂的可选方案,更适合做各种新型器件.