液晶光阀组式光刻快门控制电路的研究与设计

• 作者: 陈赟
• 来源期刊: 液晶与显示
• 学科: 工学
• 关键词: 液晶光阀组 光刻快门 控制电路
• 年，卷（期）: 2005,（4）
• 所属期刊栏目: 研究报告
• 页码范围: 333-336
• 页数: 4页
• 分类号: TN141.9|TN702
• 字数: 1293字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-2780.2005.04.014

摘要

通过分析光刻快门的控制原理及结合液晶光阀的工作原理,对液晶光阀组的控制进行了研究并给出了其控制电路图,该控制系统采用DS75451与门模块对液晶光阀组进行驱动,通过AT89C51单片机控制液晶光阀组的亮暗,实现了对液晶光阀组的控制,起到光刻快门的作用.通过实际光刻试验,液晶光阀组式光刻快门机构可以完成编码图案的控制,通光控制达到了预计的要求,刻出的图案清晰,线条陡直,证明液晶光阀替代穿孔带用于光刻快门是完全可行的.