液晶光阀在光刻快门中的应用研究

• 作者: 梁立辉 陈赟
• 来源期刊: 液晶与显示
• 学科: 工学
• 关键词: 液晶光阀 光刻快门 感光特性 光效 曝光量
• 年，卷（期）: 2004,（6）
• 所属期刊栏目: 研究报告
• 页码范围: 468-471
• 页数: 4页
• 分类号: TN141.9
• 字数: 2321字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-2780.2004.06.013

摘要

目前,国内控制码盘、计量光栅图案刻制的机构是快门,原有的穿孔带式快门有很多缺点,为了避免这些缺点,对液晶光阀作为快门的可行性进行了研究.通过对抗蚀剂的感光特性、光源的光效与曝光量之间的关系进行理论推导,构建了它们之间的数学模型,对液晶光阀的特性进行分析并进行了曝光控制实验,为设计一种智能型液晶光阀曝光控制装置提供了理论依据.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈赟	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	44	585	12.0	23.0
2	梁立辉	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	17	322	9.0	17.0