利用结构化工具刻印方法对硬脆材料进行纳米表面制备

• 作者: 刘廷元（审校） 吴光武（译）
• 来源期刊: 能源科学进展
• 学科: 工学
• 关键词: 表面制备 硬脆材料 钻石工具 纳米 刻印 结构化 超细粉末材料 压痕深度
• 年，卷（期）: 2005,（1）
• 页码范围: 13
• 页数: 1页
• 分类号: TU59

摘要

本文介绍了利用钻石结构工具刻印方法来制备硬脆材料纳米表面。超细粉末材料主要是由碳酸纳玻璃、耐火玻璃、石英玻璃、硅以及石英晶片构成。最近一种专门用于制备该类表面的先进压痕试验机和钻石工具被研制出来了，该试验机是由一种聚焦离子束（Focused Ion Beam）的系统所操纵。本文将研究压痕点和超细粉末表面结构的几何形状和精度，并且还讨论作用在成形表面的载荷和压痕深度之间的关系。试验机压头进入材料表面后材料从塑性变形到脆性变形的临界点深度称为临界深度，利用它可以估测脆性材料的性能。由此，本文着重研究了脆性材料压痕变形极限值的大小，此外还讨论了压痕处深度的变化量。